經濟日報 記者謝佳雯/台北即時報導
供應鏈傳出，
台積電（2330）供應商之一的半導體材料大廠美商英特格（Entergris）除計畫在台設廠外，也將開始供應EUV
光罩盒給
台積電南科廠與
美國亞利桑那州廠。
英特格去年底就宣布未來三至五年，將在台灣投資2億
美元（折合新台幣近60億）在高雄設廠，並於今年2月獲得科技部審查通過設廠案。
英特格在台灣的新廠位於南部科學園區高雄園區，研發生產半導體先進製程用的化學材料、流體過濾器、電子級化學品容器及工業材料特殊塗層，主要提供半導體產業上、中、下游廠商的先進製程原料及微污染解決方案。
英特格目前在台灣已有約300名員工，高雄廠預期將新聘200人，新廠預定2023年量產。
供應鏈指出，英特格的高雄廠將為5奈米、3奈米這類最先進半導體生產材料，並已計畫供應EUV
光罩盒給
台積電南科與
美國亞利桑那州廠。