傳美商英特格將供應EUV光罩盒 給台積電南科廠

經濟日報 記者謝佳雯/台北即時報導

 

 

供應鏈傳出，台積電（2330）供應商之一的半導體材料大廠美商英特格（Entergris）除計畫在台設廠外，也將開始供應EUV光罩盒給台積電南科廠與美國亞利桑那州廠。

 

英特格去年底就宣布未來三至五年，將在台灣投資2億美元（折合新台幣近60億）在高雄設廠，並於今年2月獲得科技部審查通過設廠案。

 

英特格在台灣的新廠位於南部科學園區高雄園區，研發生產半導體先進製程用的化學材料、流體過濾器、電子級化學品容器及工業材料特殊塗層，主要提供半導體產業上、中、下游廠商的先進製程原料及微污染解決方案。

 

英特格目前在台灣已有約300名員工，高雄廠預期將新聘200人，新廠預定2023年量產。

 

供應鏈指出，英特格的高雄廠將為5奈米、3奈米這類最先進半導體生產材料，並已計畫供應EUV光罩盒給台積電南科與美國亞利桑那州廠。

 

英特格為台積電、英特爾、三星、和SK海力士等晶圓製造大廠的供應商，目前約有六成的產能配置在美國，但持續在亞洲擴廠，包括日本、南韓和馬來西亞都設廠，台灣和中國大陸的生產規模較小。